Doktorantūra

Atgal

Binarinių ir trinarių lydinių gavimas cheminio besrovio nusodinimo būdu

Barjerinių sluoksnių (pvz. Co-W ir kt. dvigubų ar trigubų lydinių pagrindu) formavimas cheminės redukcijos būdu, šių sluoksnių sudėties reguliavimas bei optimizavimas. Naujų paviršiaus paruošimo bei aktyvavimo prieš dangų nusodinimą metodų kūrimas.
Vario lydinių su In, Ag ar Mn nusodinimo tyrimai kaip vandeniniuose, taip ir nevandeniniuose tirpaluose. Šių lydinių sudėties reguliavimas bei optimizavimas.
 
Dėl detalesnės informacijos susisiekite su temos vadovu E. Norkumi.