Inovacijos ir paslaugos

Plonų sluoksnių ir prietaisų formavimas

Fizikinių technologijų skyriaus atviros prieigos išteklių pagrindu veikia Prototipų formavimo ir integravimo atviros prieigos centras PFI. Vilniuje, Saulėtekio al. 3 įsikūrusiose moderniose laboratorijose ir švarios zonos patalpose galima atlikti prototipinių prietaisų formavimą nuo sluoksnio auginimo iki veikiančio elemento charakterizavimo.


Atviros prieigos ištekliai - turima įranga
  1. Magnetroninio dulkinimo įrenginys Angstrom Engineering EvoVac, skirtas plonų metalų bei metalų oksidų sluoksnių nusodinimui.
  2. Terminis vakuuminis garintuvas VUP-5, skirtas terminiam metalų nusodinimui.
  3. Terminis vakuuminis garintuvas VUP-5M, skirtas plonų metalų ir metalų oksidų sluoksnių nusodinimui magnetroninio dulkinimo metodu.
  4. Džiovinimo krosnis BINDER FDL 115, skirta įvairių tirpiklių džiovinimui.
  5. Greito atkaitinimo sistema Unitemp RTP-100-HV, skirta greitam plonų sluoksnių atkaitinimui.
  6. Vamzdinė krosnis Nabertherm RS 120/1000/11, skirta silicio padėklų oksidavimui bei priemaišų difuzijai.
  7. Dviejų vamzdžių reaktorius SVCS Process Innovation PECVD, skirtas grafeno, SiNx, SiO2, Al2O3, SiC sluoksnių nusodinimui.
  8. Skenuojančio zondo mikroskopas Veeco Dimension 3100, skirtas paviršiaus topografijos ir elektrinių, bei magnetinių savybių charakterizavimui ir lokaliam keitimui nanometrinėje skalėje.
  9. Padėklų raižytuvas OptoPhase mr200, skirtas puslaidininkių (Si, GaAs, GaSb, InP, GaP), stiklo ir kvarco padėklams raižyti.
  10. Traukos bei laminarinio srauto spintos, skirtos puslaidininkinių darinių paviršiaus paruošimui, sluoksnių centrifūginiam dengimui bei cheminiam ėsdinimui.
  11. Sutapatinimo įrenginys Karl Suss MJB3, skirtas vienpusei fotolitografijai su 1,5 μm eksponavimo skiriamąja geba.
  12. Lazerinės litografijos įrenginys Heidelberg instruments DWL66+, skirtas fotošablonų gamybai bei vienpusei ir dvipusei litografijai su 600 nm skiriamąja geba.
  13. Surinkimo sistema TPT HB10, skirta Au ir Al vielučių ultragarsiniam privirinimui.
  14. Elektrinių charakteristikų matavimo stendas Probe station Summit 11000B-AP + Keithley 4200 Semiconductor analyzer, skirtas elektrinių charakteristikų tyrimui dviejų, trijų bei keturių zondų metodais, naudojant nuolatinės srovės bei impulsinį režimus.
  15. Saulės simuliatorius Sciencetech SS1.6kW, skirtas saulės elementų fotoelektrinių charakteristikų tyrimui AM1.5 spektro šviesoje.

ŽR. DETALIAU 

Teikiamos paslaugos
  1. Plonų sluoksnių nusodinimas.
  2. Terminis apdorojimas.
  3. Apdorojimas plazma.
  4. Dangų charakterizavimas.
  5. Puslaidininkinių padėklų paruošimas.
  6. Litografija.
  7. Elektronikos komponentų surinkimas ir testavimas.

ŽR. DETALIAU

Kontaktiniai duomenys ir užsakymų pateikimas

Dr. Gvidas Astromskas
Saulėtekio al. 3, LT-10222 Vilnius
Tel. +370 5 2627934,  Faks. +370 5 2627123,  El. paštas: gvidas.astromskas@ftmc.lt