Doktorantūra

T 008 Medžiagų inžinerija / Materials Engineering
dr. Lina Grinevičiūtė ✉

 

LT - Optinių dangų formavimas naudojant atominių sluoksnių nusodinimo technologiją ant sudėtingų paviršių: sintezės parametrų įtaka optinėms ir mechaninėms savybėms

 

Atominių sluoksnių nusodinimo (ALD) technologija yra perspektyvus metodas optinėms dangoms formuoti ant sudėtingos formos pagrindų, pvz., didelio išgaubtumo lęšių, sudėtingos formos mikro optikos ar drėgmei jautrių kristalų. Tačiau siekiant pritaikyti plonus sluoksnius, užaugintus ALD technologija, optinių dangų formavimui yra svarbu nustatyti, kaip sluoksnio optinės bei mechaninės savybės priklauso nuo sintezės technologinių parametrų. Standartinės plonų sluoksnių dengimo technologijos yra puikiai išvystytos interferencinių dangų formavimui ant plokščių paviršių. Tačiau norint dangas formuoti ant sudėtingos formos darinių, laisvos formos optikos ar micro/nano struktūrizuotų paviršių dažnai standartinės technologijos nebetinka dėl dominuojančios nusodinamų dalelių krypties.
Planuojamos disertacijos metu bus tyrinėjamos ALD galimybės dangas formuoti ant įvairių paviršių, pvz., lydyto kvarco padėklų, kristalų ar hibridinių polimerų. Ypatingas dėmesys bus skiriamas dangų augimo proceso parametrų – temperatūros, prekursorinių medžiagų, nusiurbimo greičio – įtakai optinėms ir mechaninėms sluoksnio savybėms. Planuojama analizuoti įvairių medžiagų, suformuotų ALD metodu, atsparumą lazerinei spinduliuotei bei vidinių įtempių priklausomybę nuo technologinių parametrų. Taip pat bus bandoma ieškoti naujų medžiagų bei plėsti turimo metodo galimybes: siekiama formuoti ne tik dangas, pasižyminčias geru atsparumu lazerinei spinduliuotei, bet ir vertinama elektriškai laidžių sluoksnių formavimo galimybės.