T 008 Medžiagų inžinerija / Materials Engineering
dr. Valdemar Stankevič ✉
LT - Integruotos stiklo mikrosistemos: optinių bangolaidžių, mikrofluidikos ir selektyvaus metalizavimo suderinimas naujos kartos technologijoms
Femtosekundinės lazerinės abliacijos, selektyvaus cheminio ėsdinimo ir pažangiųjų metalizavimo technologijų integracija į stiklo substratus iš esmės keičia daugiafunkcinių mikrosistemų sukūrimo perspektyvas. Šie metodai leidžia sklandžiai derinti itin preciziškus mikrofluidinius tinklus, mažų nuostolių optinius bangolaidžius ir įterptus elektrinius sujungimus, atverdamas naujas galimybes fotonikos pakavimui, milimetrinių bangų elektronikai, biomedicinos prietaisams ir kvantinėms sistemoms. Naujausi tyrimai parodė reikšmingus pasiekimus: mažesnius nei 0,1 dB/cm sklidimo nuostolius jonų mainų būdu modifikuotuose stiklo bangolaidžiuose, didesnį nei 0,42 kN/m vario sukibimo stiprumą, pasiektą optimizuotu lazeriu-inicijuotu katalitiniu nusodinimu, bei mikrokanalų gylio/pločio santykį iki 10:1, naudojant netiesinę lazerinę abliaciją. Tai leidžia panaudoti stiklą kaip išskirtinę platformą heterogeniškai integruotoms sistemoms, kurioms reikalingas vienalaikis optinis, skysčių ir elektrinis funkcionalumas. Moksliniai tyrimai apims šių skirtingų technologijų panaudojimą, kuriant fotoninius integruotus grandynus.
EN - Integrated glass microsystems: convergence of optical waveguides, microfluidics, and selective metal platting for next-generation technologies