Autorius: ARMANDAS BALČYTIS
Disertacijos pavadinimas: Subbanginių funkcinių komponentų gamyba litografijos metodais
Mokslo sritis: Medžiagų inžinerija 08 T
Mokslinis vadovas: dr. Raimondas Petruškevičius, mokslinis konsultantas – prof. Saulius Juodkazis (Svinburno technologijos universitetas)
Gynimo data: 2018-12-05
ANOTACIJA:
Litografinės gamybos mokslo srities siekis yra patikimų metodų, skirtų kuo griežčiau apibrėžtos geometrijos dariniams suformuoti, sukūrimas ir taikymas. Individualių funkcinių komponentų matmenys bei jų išdėstymas apsprendžia, su kokiais fizikiniais reiškiniais galutinis darinys bus pajėgus efektyviai sąveikauti. Pavyzdžiui, gausybei fotoninių reiškinių įgyvendinti yra būtina sukurti struktūras, kurių matmenys yra palyginami su arba mažesni nei atitinkamos spinduliuotės bangos ilgis. Taigi, tik nedidelė dalis visų gamybos metodų pasižymi pakankamai didele skyra leidžiančia deramai valdyti optines ir su jomis susijusias sąveikas. Šio darbo tikslas yra taikyti nano-tikslumu pasižyminčius gamybos metodus, pagrinde elektronų ir jonų pluošto litografijas bei fizinio garų nusodinimo ar ėsdinimo reaktyviais jonais paviršių apdirbimo būdus, kuriant įvairius su medžiagos ir elektromagnetinės spinduliuotės sąveika susijusius funkcionalumus įgyvendinančius komponentus bei darinius, tokius kaip integriniai bangolaidiniai fotoniniai grandynai atliekantys optinių bio-jutiklių funkcijas, mikro-optiniai elementai generuojantys pageidaujamos poliarizacijos ar topologinio krūvio šviesos pluoštus, bei spinduliuotę sugeriantys plazmoniniai metapaviršiai. Be to, miniaturizacija čia naudojama siekiant sukurti naujas galimybes termometrijai, makromolekulinių junginių detekcijai, ir netgi ultra-šaltų atomų pagavai kvantinių reiškinių tyrimams atlikti.
Metai: 2018