Įranga

Skaliariniai Elmika gamybos grandinių analizatoriai leidžia atlikti mikrobangų spinduliuotės sąveikos su puslaidininkiniais dariniais tyrimus dažnių ruože nuo 10 GHz iki 170 GHz, o taip pat atlikti šių darinių voltamperinių ir voltfaradinių charakteristikų matavimus nuostoviosios ir žemo dažnio srovės režime.
Agilent puslaidininkių parametrų analizatorius ir LCR matuoklis naudojamas puslaidininkinių darinių voltamperinių ir voltfaradinių charakteristikų matavimams.
Turimas Agilent spektro analizatorius leidžia atlikti puslaidininkinių darinių generuojamos elektromagnetinės spinduliuotės tyrimus dažnių ruože nuo 20 kHz iki 325 GHz.
Turimos Karl Suess ir Cascade Microtech zondų stotys leidžia atlikti matavimus ant puslaidininkinio padėklo nuostoviosios srovės režime bei 26÷40 GHz ir 75÷110 GHz dažnių juostose.
Originalus kartu su Elmika sukurtas artimojo lauko mikrobangis mikroskopas leidžia tirti medžiagų elektrines savybes plačiame elektrinio laidumo ruože, pradedant dielektrikais ir baigiant metalais, tam naudojant milimetrinio bangų ilgio ruožo elektromagnetinę spinduliuotę.
Žemos temperatūros fotoliuminescencijos stendas su dviem fotonų skaičiavimo moduliais. Galima registruoti nuostoviojo srauto ir pikosekundinės trukmės optinius impulsus esant mažam 200-900 nm šviesos intensyvumui temperatūrų intervale 4-300 K ir su spektro skiriamąja geba iki 0,008 nm (arba 0,003 nm geba iki 750 nm bangos ilgio): a) laike koreliuotų pavienių fotonų skaičiavimo modulis leidžia matuoti nuo 10 ps iki 2 µs trukmės fotoliuminescencijos kinetikas, fotonų koreliacijas ir laikinės skyros fotoliuminescencijos spektrus; b) valdomas fotonų skaitiklis leidžia matuoti fotoliuminescencijos spektrus ir jų kinetiką nuo 250 ns.
Turima skystinės epitaksijos puslaidininkinių sluoksnių auginimo įranga leidžia pasigaminti norimos konfigūracijos epitaksinius puslaidininkinius darinius Elektronikos skyriuje kuriamiems mikrobangų, infraraudonosios spinduliuotės, rentgeno spinduliuotės jutikliams, originaliems saulės elementams.
Veikia nedidelis mikroelektoninės technologijos modulis, skirtas nedidelės apimties puslaidininkinių elektronikos prietaisų eksperimentinei gamybai.
Adatinis Dektak-6M profilometras skirtas bandinių paviršių reljefo matavimams nanometrų skalėje. Juo galima išmatuoti paviršių vertikaliuosius matmenis kelių nanometrų tikslumu.
Optinis parametrinis osciliatorius (λ=1.4÷4.2 µm), kaupinamas Nd:YAG lazerio spinduliu (λ=1.06 µm, impulso trukmė ~10 ns) (Ekspla UAB).
Derinamo bangos ilgio CO₂ lazeris (λ=9.2÷10.8 µm). Galia nuolatinės veikos režime 20-40 W. Impulsinės veikos režime impulso galia 2-5 kW, impulso trukmė ~150 ns (Edinburgh Instruments Ltd).
Optiškai kaupinamas tolimosios infraraudonosios spektro srities derinamo dažnio lazeris, dirbantis nuolatinės veikos bei impulsiniame režime ir spinduliuojantis virš 50 diskretinių linijų λ ~ 50 - 700 μm (atitinkamai ƒ~ 6 – 0,4 THz) spektro srityje (Edinburgh Instruments Ltd.).