Lazerinės selektyvaus dengimo technologijos kūrimas heterogeniniams integruotiems lustų substratams

Projekto Nr.: 10-085-01-001 

Projekto vadovas: vyriausiasis mokslo darbuotojas Karolis Ratautas 

Partneris Lietuvoje: UAB „Akoneer“ 

Projekto vertė: 302 206,88 Eur 

Projekto trukmė: 2026 m. rugpjūtis – 2028 m. rugpjūtis 

FTMC įgyvendina projektą „Lazerinės selektyvaus dengimo technologijos kūrimas heterogeniniams integruotiems lustų substratams“, kuris yra projekto „Didinti mokslo tarptautiškumo lygį įgyvendinant „Eureka“ tinklo programos veiklas-III“ dalis. 

Projektas skirtas naujos kartos daugiasluoksniams stiklo pagrindo integrinių grandynų substratams, naudojamiems pažangiam puslaidininkių pakavimui, kurti. 

FTMC vystoma SSAIL (Selective Surface Activation Induced by Laser) technologija leidžia lazeriu selektyviai aktyvuoti paviršių ir be papildomų kaukių formuoti itin smulkias, 3–5 μm pločio vario linijas. Projekto metu bus kuriami ir optimizuojami lazerinio rašymo procesai bei jų integravimas į daugiasluoksnes struktūras. 

Tokios technologijos aktualios dirbtinio intelekto, aukštos našumo kompiuterijos ir 5G/6G ryšio sistemoms, kurioms reikia vis didesnio laidžiųjų takelių tankio ir mažų elektrinių nuostolių. 

Projektą koordinuoja FTMC, bendradarbiaujantis su Lietuvos partneriu UAB „Akoneer“ bei partneriais Taivane – ITRI institutu ir „WaferChem“. Kuriamų technologijų pramoninį pritaikomumą vertins „Wistron“ korporacija. 

Projektas finansuojamas Europos Sąjungos fondų, bendrojo finansavimo ir Lietuvos Respublikos valstybės biudžeto lėšomis pagal 2022–2030 m. mokslo plėtros programos pažangos priemonę Nr. 12-001-01-02-01 „Stiprinti inovacijų ekosistemas mokslo centruose“. 

Bendrai finansuoja Europos Sąjunga.