Struktūra

Mikrosistemų technologijų laboratorija

Laboratorijos vadovas dr. (HP) Arūnas Šetkus
tel. +370 5 2627934

Jutiklių integravimas

Misija:
vystyti su fotonika susijusių elektroninių jutiklių ir jų sistemų taikomuosius tyrimus.

Tikslas:
kurti praktinio taikymo daugiafunkcines autonominio veikimo fizikinio ir cheminio poveikio detekcijos sistemas, pagrįstas elektrinių ir fotoninių efektų kombinavimu, kurioms naudojamos FTMC kuriamos medžiagos ir technologijos.

Gali būti sukurti ir surinkti specializuoti prietaisai ir jų prototipai.

Keli prietaisų pavyzdžiai:

 

Kvapo atpažinimo sistema „E-nosis“

Bendradarbiaujant su UAB „Optronika“ sukurtas automatinis skysčių užšalimo temperatūros matuoklis FPM2.

 

 

Prietaisų technologijos

Technologinių procesų, kontrolinių matavimų ir jų rezultatų valdymas nuo prietaiso idėjos iki prietaiso prototipo.

Atlikti darbai puslapyje: https://pfi.ftmc.lt

Hibridinės technologijos

Atliekama 2D medžiagų sintezė, naudojant cheminio garų nusodinimo technologijas. 2D medžiagos (Grafenas (G) ir Molibdeno disulfidas  (MoS2)) yra tiriamos elektriniais  bei fizikiniais matavimais, siekiant išmatuoti atsaką į išorės poveikius 2D medžiagų struktūrose.
2D medžiagos gali būti labai jautrios dėl jų mažo storio. Todėl siekiame išnaudoti šią savybę sensorinėms struktūroms, kurioms jautrumas yra esminė sąlyga. Cheminių garų nusodinimo būdas leidžia sintetinti monosluoksnio struktūras, bet pasižymi multikristališkumu. Nors tai vadinama defektinėmis būsenomis, bet būtent kraštinės būsenos yra jautriausios išorės poveikiui, todėl galimai tinkamiausios sensoriams.
Mūsų sintezės įrankiai yra atmosferinė CVD bei vakuuminė PECVD auginimo krosnys. Sintetintos struktūros yra matuojamos AFM bei Raman metodais, siekiant įvertinti jų kristalinę kokybę. Taip pat esame išvystę 2D medžiagų šlapio perkėlimo technologiją, kurios pagalba galime uždėti 2D struktūras ant izoliuojančių paviršių, kad išmatuoti elektrines sensorinių struktūrų charakteristikas.