Polimetilmetakrilato (PMMA) pašalinimo nuo grafeno paviršiaus metodas naudojant fotoapšvitą

  • Patentas: EP 3936476 B1
  • Autoriai: Natalia Alexeeva, Irmantas Kašalynas

Aprašymas: Metodas leidžia efektyviai pašalinti PMMA sluoksnius nuo grafeno paviršiaus naudojant giliosios ultravioletinės spinduliuotės (DUV) fotoapšvitą ir ryškinimą alkoholio bei vandens mišinyje.