Įgilintų elektrinių komponentų gamybos metodas

  • Patentas: LT 6909 B
  • Autoriai: Irmantas Kašalynas, Simonas Indrišiūnas, Pawel Prystawko, Piotr Kruszewski

Aprašymas: Išradime aprašomas lazerinio mikroapdirbimo metodas, skirtas formuoti įgilintus elektrinius kontaktus ir laidžius komponentus III-N puslaidininkinių heterostruktūrų sistemose.